Описание на оборудването:
· Въведение в оборудването:
Машината за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване е технология за плазмено разпрашване, контролирана от магнитно поле. Принципът на работа на машината за магнетронно разпрашващо покритие е да използва магнитното поле за контролиране на заредените частици в плазмата, така че да произвежда плазма с висока плътност на повърхността на целта, така че да се постигне ефективен процес на разпрашаване. Машината за магнетронно разпрашващо покритие включва основно вакуумна камера, целеви материал, субстрат, система за магнитно поле, система за подаване на газ и система за захранване. В процеса на разпръскване вакуумната камера първо се изпомпва до състояние на висок вакуум и след това се инжектира инертен газ (като аргон). Под действието на електрическо поле газът аргон се йонизира в аргонови йони и електрони. Аргоновият йон бомбардира повърхността на мишената под ускорението на електрическото поле, което кара атомите или молекулите на мишената да се разпръскват. В същото време електроните се свързват близо до повърхността на мишената под действието на магнитното поле, образувайки плазма с висока -плътност, която увеличава скоростта на разпръскване. Разпръснатите целеви атоми или молекули се отлагат върху субстрата, за да образуват филм. Машината за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване може да се използва широко в микроелектрониката, оптоелектрониката, нанотехнологиите, новите материали и други области, осигурявайки ефективен и екологичен метод за подготовка на филми за съвременната индустрия и научни изследвания.
· Предимства на оборудването:
Машината за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване има уникална основна технология със следните предимства:
1. Бърза скорост на отлагане. Машината за магнетронно разпрашващо покритие може да получи голям йонен поток поради използването на високоскоростен магнетронен електрод, който ефективно подобрява скоростта на отлагане и скоростта на разпрашаване по време на процеса на нанасяне на покритие.
2, висока енергийна ефективност. Машината за магнетронно разпръскване обикновено избира подходящото напрежение, за да гарантира, че оборудването е точно в най-високия ефективен диапазон на енергийна ефективност.
3. Ниска енергия на разпръскване. Прилагането на ниско напрежение може да предотврати падането на частици с по-висок енергиен заряд върху субстрата и да избегне деформация на субстрата на продукта.
4. Композитен целеви материал. Модулен универсален интерфейс, директно съвместим с различни форми на катодни мишени, позволяващ DC импулсен, IF, RF режим на работа; Силна съвместимост;
Широка гама от приложения. Има много елементи, които могат да бъдат отложени чрез машина за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване, най-често срещаните са: Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN и други метални, не-метални и керамични оксидни филми и композитни филми;
Област на приложение:
машината за експресно магнетронно разпрашващо покритие може да бъде покрита с Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN и други метални, не-метални и керамични оксиди от всички видове филми и композитни филми;
express Широко използван в микроелектрониката, оптоелектрониката, нанотехнологиите, новите материали и други области.
Тип покритие:
|
Тип покритие |
Дебелина на филма (μm) |
Достижима производителност |
Основно приложение |
|
Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN,. и т.н |
0.5-10 |
Подобряване на заваряемостта, подобряване на възможностите за електромагнитно екраниране, промяна на цвета на външния вид и т.н. |
Широко използван в микроелектрониката, оптоелектрониката, нанотехнологиите, новите материали и други области |
Популярни тагове: машина за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване, Китай производители на машини за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване, доставчици, фабрика, Безпроблемно оборудване за покритие, много функционално покритие, оборудване за покритие за сглобки, признато оборудване за покритие, универсално оборудване за покритие, оборудване за покритие за реставратори
