Общ преглед на продукта
Промишлено оборудване за много{0}}дъгово йонно покритие, проектирано за нанасяне на твърди покрития, функционални филми и декоративни PVD покрития върху прецизни компоненти. Използвайки вакуумен дъгов разряд с висок{2}}ток и ниско-напрежение, системата директно изпарява твърди целеви материали (Ti, Cr, Al, Zr). Когато се комбинира с реактивни газове (N2, O2, C2H2), той синтезира плътни нитриди, карбиди и оксиди на преходни метали директно върху метални субстрати.
Изградено върху модулна архитектура на вакуумна камера, това готово PVD решение обхваща различни производствени мащаби-от партидна обработка за научноизследователска и развойна дейност до автоматизирано, високо{1}}производително вградено производство. Системата е оптимизирана за високо целево използване и ниска обща цена на притежание (TCO) в непрекъснати 24/7 индустриални среди.
-
![Оборудване за много{0}}дъгово вакуумно отлагане]()
Оборудване за много{0}}дъгово вакуумно отлаганеТази система за много-дъгово вакуумно отлагане използва технология за йонно покритие с катодна дъга за отлагане на плътни твърди покрития с висока-адхезия върху метални и не-метални субстрати....Вижте още -
![Много{0}}система за йонно отлагане на дъга]()
Много{0}}система за йонно отлагане на дъгаThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% йонизация на твърд катоден...Вижте още -
![Много{0}}дъгово PVD тънкослойно оборудване]()
Много{0}}дъгово PVD тънкослойно оборудванеИндустриалната много{0}}дъгова PVD система използва катодна дъга с висока{1}}йонизация физическо отлагане на пари за отлагане на плътни стехиометрични твърди покрития (като TiN, TiAlN, CrN и DLC)...Вижте още -
![Оборудване за много-дъгово йонно отлагане]()
Оборудване за много-дъгово йонно отлаганеИндустриалната система за много-дъгово йонно отлагане генерира плътни тънки филми с висока-адхезия чрез изпаряване на катодна дъга с висок-ток и ниско{3}}напрежение. Твърдите целеви материали...Вижте още -
![Много{0}}дъгова йонна тънкослойна система]()
Много{0}}дъгова йонна тънкослойна системаИндустриалната мулти{0}}дъгова йонна тънкослойна система използва катоднодъгово изпаряване за нанасяне на плътни керамични и метални покрития с висока-адхезия върху метални и сплавни субстрати....Вижте още -
![Много{0}}дъгово йонно тънкослойно оборудване]()
Много{0}}дъгово йонно тънкослойно оборудванеТази система за много-дъгово йонно покритие използва изпарение с катодна дъга за отлагане на плътни твърди покрития с висока-адхезия и функционални тънки филми. Чрез запалване на дъга с висок-ток...Вижте още
Технически спецификации
|
Параметър |
Спецификация Диапазон |
Единица / Забележка |
|
Размери на камерата |
Ф600 х 600 до Ф1500 х 1800 |
mm (персонализирани вертикални или хоризонтални конфигурации) |
|
Крайно вакуумно налягане |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (Суха помпа + Турбо-молекулен / комплект за дифузия на масло) |
|
Източници на катодна дъга |
4 до 16 единици |
Електромагнитни управлявани или филтрирани източници на дъга (FCA) |
|
Мощност на отклонение на субстрата |
0 до -1000 |
V (Разширени импулсни DC / MF възможности за отклонение) |
|
Температура на нагряване |
Стайна температура до 600 |
C (PID контролирани лъчисти нагреватели) |
|
Еднородност на отлагането |
<= +/- 5% |
Измерено чрез XRF в ефективната работна зона |
|
Система за контрол |
PLC + Индустриален компютър |
Автоматизирано изпълнение на рецепта, запис на данни в SCADA |
|
Безопасност и съответствие |
CE, ISO 9001 |
UL-съвместими електрически кутии, налични при поискване |
Последователността на физическото отлагане на пари работи на строг автоматизиран работен процес със затворен-контур, за да се гарантира повторяемост от-за-партида:
Евакуация и обезгазяване:
Вакуумната камера се изпомпва до базово налягане от<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Плазмено ецване (бомбардиране):
Въвежда се газ аргон. Силно отрицателно отклонение се прилага към държача на субстрата, генерирайки Ar йони, които бомбардират повърхността, за да разпръснат естествените оксиди и микро-замърсители.
Дъгово изпарение и йонизация:
Постоянният ток на дъгата удря твърдия метален катод. Локалното катодно петно достига изключителна енергийна плътност, незабавно изпарявайки целевия материал в плазмен поток с висока -плътност (степен на йонизация > 80%).
Реактивно отлагане:
Реактивните газове се инжектират в плазмения поток при прецизно контролирано парциално налягане чрез контролери на масовия поток (MFCs), образувайки стехиометрични съставни филми върху въртящи се субстрати.
Охлаждане и вентилация:
Контролираното охлаждане се осъществява при защита от инертен газ преди вентилирането на камерата, предотвратявайки окисляването на прясно покрити части.
Филмови материали и свойства на покритието
Системата поддържа много-метални катодни подредби, позволяващи монослойни, многослойни, нано-композитни и градиентни филмови архитектури:
TiN (титанов нитрид):
Стандартно златисто покритие; твърдост 2200–2400 HV; коефициент на триене 0,4. Основна употреба: общи режещи инструменти и механични износващи се части.
TiAlN (титанов алуминиев нитрид):
Устойчивост на високо{0}}температурно окисление до 850 C; твърдост 3000–3300 HV. Основна употреба: високоскоростни вложки за суха обработка и клапани на двигателя.
CrN / CrAlN (хромов нитрид):
Отлична устойчивост на корозия и ниско вътрешно напрежение; свойства против -задирване на-цветни метали. Основна употреба: формоване на форми, бутални пръстени и компоненти на текстилни машини.
ZrN / TiCN:
Ниска грапавост на повърхността (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Приложения
Прецизни режещи инструменти:
Крайни фрези, свредла, котлони и сменяеми вложки, изискващи удължен живот на инструмента при високи термични натоварвания.
01
Автомобилно задвижване:
Бутални щифтове, тласкачи, компоненти за впръскване на гориво и повърхности на зъбни колела, изискващи намалено гранично триене и устойчивост на надраскване.
02
Форми и матрици:
Пластмасови шприцформи, матрици за щамповане и-вложки за леене под налягане, изискващи устойчивост на износване на лепило и термична умора.
03
Аерокосмически компоненти:
Турбинни лопатки и титанови крепежни елементи, работещи в агресивни корозивни и високо-напрегнати среди.
04
Персонализиране и системна конфигурация
Стандартните каталожни артикули рядко пасват идеално на специалните фабрични оформления. Конфигурациите на оборудването са пригодени въз основа на конкретна геометрия на компонентите, целеви времена на цикъла и ограничения на съоръженията:
Геометрия на камерата:
Осмоъгълни или цилиндрични камери от неръждаема стомана (SUS304/SUS316L) с двойни-стенни водни-охлаждащи ризи.
Изходно оформление:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Фиксиране на субстрата:
Планетарно въртене (3-ос) или механизми с едно въртене, задвижвани от захранващи канали за магнитна течност, за да се гарантира равномерно покритие на сложни 3D геометрии.
Опции за изпомпване на стека:
Вентилатори на Roots, помпи с ротационни лопатки, криогенни помпи или турбомолекулярни помпи, конфигурирани да отговарят на стриктни времена на цикъла на изпомпване{0}}намаляване.
Протоколи за контрол на качеството и тестване
Всяка машина се подлага на стриктно фабрично приемане (FAT) преди изпращане, документирано за преглед от купувача:
01
Тест за цялост на вакуум:
Откриване на теч на хелий с помощта на масова спектрометрия (скорост на теч<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Електрическа безопасност и изгаряне{0}}:
72-часова непрекъсната суха работа на захранвания, блокировки за водно охлаждане и логика за автоматизация на PLC.
03
Проверка на покритието (-вътрешна лаборатория):
Проби, тествани чрез Calo-тест (дебелина на филма), вдлъбнатина по Рокуел (сила на адхезия) и нановдлъбнатина (твърдост).
Инсталиране, пускане в експлоатация и техническа поддръжка
Указания за подготовка на място:
Осигурени са подробни чертежи на схемата на разпределението на охлаждащата вода/налягане, сгъстен въздух, смукателна вентилация и изисквания за електрически шини.
SAT и въвеждане в експлоатация:
Инсталиране на -на място (тестване за приемане на място), калибриране на вакуум и предаване на базовата рецепта, извършени от старши инженери по PVD процеси.
Процесно обучение:
Практическо-обучение на оператори, обхващащо графици за смяна на катоди, превантивна вакуумна поддръжка, отстраняване на неизправности и основно оптимизиране на рецепти.
Поддръжка на резервни части:
Критични износващи се компоненти (катоди, щитове, изолатори и уплътнения), складирани за глобално изпращане в рамките на 48 часа.
Често задавани въпроси
Ние сме добре-известни като един от водещите производители и доставчици на много{1}}дъгово йонно тънкослойно оборудване в Китай. Ако възнамерявате да закупите персонализирано много-дъгово йонно тънкослойно оборудване, произведено в Китай, добре дошли да получите ценова листа от нашата фабрика. За ценова консултация се свържете с нас.
Оборудване с тънък филм за MEMS, Оборудване с тънък филм за сензори и задействащи механизми
