Здравейте! Като доставчик на машини за нанасяне на покритие с разпръскване съм виждал справедлив дял от проблемите, с които клиентите се сблъскват с тези устройства. Машините за разпръскващо покритие са супер полезни в различни индустрии, от електроника до бижута, но като всяка част от оборудването, те идват със собствен набор от общи проблеми. В този блог ще ви преведа през някои от най-честите неизправности, които може да срещнете при машината за нанасяне на покритие с разпръскване, и как да се справите с тях.
1. Лоша адхезия на покритието
Едно от най-честите главоболия при машините за нанасяне на покритие е лошата адхезия на покритието. Знаете, когато покритието просто не залепва правилно към основата. Това може да се случи по куп причини. Първо, повърхностното замърсяване е голям виновник. Ако основата не е чиста преди процеса на нанасяне на покритие, може да има масла, прах или други примеси по повърхността, които пречат на покритието да се залепи добре.
Друга причина може да бъде неправилната подготовка на основата. Понякога може да се наложи основата да бъде грапава или обработена по определен начин, за да се подобри адхезията. Например, в някои случаи предварителната обработка с плазма може да помогне за почистването и активирането на повърхността, правейки я по-възприемчива към покритието.
Освен това параметрите на отлагането играят решаваща роля. Ако мощността на разпръскване е твърде ниска, частиците на покритието може да нямат достатъчно енергия, за да се свържат силно със субстрата. От друга страна, ако е твърде високо, може да причини повреда на основата или да създаде грапава повърхност на покритието. Правилното регулиране на тези параметри е от ключово значение за постигане на добра адхезия.
2. Неравномерна дебелина на покритието
Неравномерната дебелина на покритието е друг проблем, който може да ви подлуди. Това може да накара вашите продукти да изглеждат непоследователни и да повлияе на ефективността им. Има няколко фактора, които могат да доведат до този проблем.
Геометрията на субстрата и мишената в машината за разпръскващо покритие е важна. Ако субстратът и целта не са правилно подравнени, частиците на покритието може да не са разпределени равномерно по повърхността на субстрата. Например, ако субстратът е поставен твърде близо до едната страна на целта, той може да получи повече покритие от тази страна.
Газовият поток в камерата също има значение. Непостоянният газов поток може да причини промени в плътността на плазмата, което от своя страна влияе върху скоростта на разпрашаване и дебелината на покритието. Трябва да се уверите, че газът тече равномерно в цялата камера.
Освен това скоростта на въртене на субстрата (ако има ротационен механизъм) може да повлияе на дебелината на покритието. Ако въртенето е твърде бавно, някои области на субстрата може да получат повече покритие от други.
3. Замърсяване в покритието
Замърсяването в покритието може да съсипе цялата ви партида продукти. Може да идва от различни източници. Един често срещан източник е остатъчният газ в камерата. Дори ако изпомпате въздуха в камерата, пак може да има останали следи от газове. Тези газове могат да реагират с покриващия материал по време на процеса на разпръскване и да създадат примеси в покритието.
Самият целеви материал също може да бъде източник на замърсяване. Ако мишената има примеси или ако не е с високо качество, тези примеси могат да бъдат разпръснати върху субстрата заедно с желания материал за покритие.
Друг потенциален източник са стените на камерата. С течение на времето материалът за покритие може да се натрупа върху стените на камерата. Ако тези отлагания се отлепят по време на процеса на разпръскване, те могат да попаднат в покритието на субстрата.
4. Дъга в камерата
Дъгата е сериозен проблем в машините за нанасяне на покритие чрез разпрашаване. Може да причини повреда на целта, субстрата и други компоненти в камерата. Дъга обикновено възниква, когато има електрически разряди в плазмата.
Една от причините за образуването на дъга е наличието на проводими частици в камерата. Тези частици могат да създадат път за протичане на електрическия ток по неконтролиран начин, което води до образуване на дъга. Може да са отломки от предишни процеси на нанасяне на покритие или малки метални частици, които са се отделили.
Налягането в камерата също влияе върху образуването на дъга. Ако налягането е твърде високо или твърде ниско, това може да увеличи вероятността от искрене. Трябва да поддържате оптималния диапазон на налягане, определен за вашата машина за нанасяне на разпрашително покритие.
5. Целеви проблеми с ерозията
Мишената в машината за нанасяне на разпрашително покритие е ключов компонент и ерозията на мишената може да бъде основен проблем. Неравномерната ерозия на целта може да доведе до промени в свойствата на покритието и да намали продължителността на живота на целта.
Разпределението на магнитното поле в магнетрона (ако е машина за магнетронно разпръскване) играе голяма роля в ерозията на целта. Ако магнитното поле не е еднородно, скоростта на разпръскване ще варира в целевата повърхност, причинявайки неравномерна ерозия.
Силата на разпръскване и газовият поток също оказват влияние върху ерозията на целта. Високата мощност на разпръскване може да увеличи скоростта на ерозия, а неправилният газов поток може да причини неравномерно разпределение на плазмата, което води до неравномерна ерозия.
Решения на тези проблеми
Сега, след като говорихме за често срещаните проблеми, нека да разгледаме някои решения.
За лоша адхезия на покритието, не забравяйте да почистите добре основата преди процеса на нанасяне на покритие. Можете да използвате разтворители, ултразвуково почистване или плазмена предварителна обработка. Регулирайте мощността на разпръскване и други параметри на отлагане според изискванията на субстрата и материала на покритието.


За да разрешите проблема с неравномерната дебелина на покритието, проверете подравняването на субстрата и целта. Уверете се, че газовият поток е равномерен и регулирайте скоростта на въртене на субстрата, ако е необходимо.
За да предотвратите замърсяване на покритието, използвайте висококачествени целеви материали и осигурете подходящо вакуумно изпомпване, за да намалите остатъчните газове в камерата. Редовно почиствайте стените на камерата, за да премахнете всякакви отлагания на покритието.
За образуване на дъга, почистете камерата, за да премахнете проводящите частици. Следете и поддържайте оптимално налягане в камерата.
За да се справите с проблемите с ерозията на целта, проверете и коригирайте разпределението на магнитното поле в магнетрона. Оптимизирайте мощността на разпръскване и газовия поток, за да осигурите равномерна ерозия.
Нашите машини за разпръскване на покритие
В нашата компания предлагаме набор от машини за нанасяне на покритие чрез разпръскване, включителноPVD машина за позлатяване,Машина за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване, иМини машина за нанасяне на PVD покритие. Тези машини са проектирани с усъвършенствана технология за минимизиране на често срещаните проблеми, които обсъждахме. Ние също така предоставяме отлична следпродажбена поддръжка, за да ви помогнем да отстраните всички проблеми, които могат да възникнат.
Ако търсите машина за нанасяне на покритие чрез разпръскване или ако имате проблеми със съществуващата си машина, не се колебайте да се свържете с нас. Ние сме тук, за да ви помогнем да намерите най-доброто решение за вашите нужди от покритие. Независимо дали сте малък производител на бижута или голям производител на електроника, ние имаме правилната машина за вас. Свържете се с нас днес, за да започнем дискусия относно вашите изисквания и нека работим заедно, за да постигнем висококачествени резултати с покритие.
Референции
- „Наръчник за процеси и технологии за отлагане на тънък филм“
- „Отлагане на пръски: принципи и приложения“
