Оборудване за нанасяне чрез дъгово изпаряване

Индустриална платформа за физическо отлагане на пари (PVD), проектирана за високо{0}}синтез на плътни,-устойчиви на износване и функционални твърди покрития. Поддържането на катоден дъгов разряд с висок-ток и ниско{4}}напрежение върху твърди целеви повърхности генерира 80% до почти 100% йонизиран плазмен поток.

В комбинация с програмируемо отрицателно изместване на субстрата, тази висока кинетична енергия задвижва междинно смесване в атомен -мащаб, осигурявайки превъзходна адхезия на филма и нулева колонна порьозност. Архитектурата на камерата поддържа модулни много-катодни конфигурации за автоматизирано отлагане на едно-слойни, много-слойни нано-ламинати и стехиометрични градиентни покрития (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Висока степен на йонизация:Директното катодно изпаряване превръща металния поток в йони с висока-плътност, насърчавайки плътни зърнести структури без микро-кухини.

Активно магнитно управление:Програмируемите електромагнитни намотки обхождат петното на дъгата през целевите лица, потискайки локализираното образуване на кратери и стимулирайки използването на целевия материал над 60%.

Динамичен газов контрол:Контролерите за масов дебит със затворен -контур (MFC) регулират впръскването на реактивен газ (N2, O2, C2H2) чрез обратна връзка за частично налягане в реално-време.

Синергия от-източници:Стените на камерата се приспособяват към хибридно разположение на мишените, което позволява непрекъснато последователно отлагане на много-компонентни керамични слоеве в единичен вакуумен цикъл.

Група за грубо обработване и корени:Ротационна{0}}помпа с лопатки с директно задвижване, съчетана с вентилатор Roots с голям-работен обем за справяне с големи газови натоварвания по време на реактивна обработка.

Етап на висок вакуум:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s), свързани чрез пневматичен шибър с висока-проводимост.

Вакуумно оборудване:Взаимосвързана настройка на Pirani и студен катод с двоен-манометър, следяща диапазоните на общото налягане от атмосфера до 10^-6 Pa.

Цялост на изтичане:Запечатаните с еластомер-фланци с-охлаждане с водна риза поддържат нива на течове в системата под 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Материали за катодни мишени
Преходни метали и сплави:Титан (Ti), хром (Cr), цирконий (Zr), алуминий (Al), титан-алуминий (TiAl 50/50, 33/67), волфрам (W).

Не{0}}метални:Графит с висока-чистота (C) за диамантено-въглеродни (DLC) и карбидни слоеве.

Индустриални субстрати
Инструментални стомани и карбиди:Високо{0}}бързорежеща стомана (HSS), циментирани карбиди (WC-Co).

Структурни сплави:Аустенитни/мартензитни неръждаеми стомани, титанови сплави (TC4), суперсплави на базата на никел- (Inconel).

Прецизни режещи инструменти:Отлагане на TiAlN и AlTiN върху бормашини, челни фрези и зъбни плочи за повишаване на твърдостта на повърхността до 3300-3500 HV и повишаване на устойчивостта на термично окисляване до 800 градуса.

Автомобилно инженерство:Покрития с ниско-триене,-устойчиви на износване върху компоненти за впръскване на гориво, бутални пръстени и тласкачи.

Форми и матрици:Отлагане на хромов нитрид (CrN) върху пластмасови шприцформи за предотвратяване на износване на лепило, микро-заваряване и залепване на смола.

Размер на камерата:Геометрични модификации, пригодени за големи архитектурни панели или високо-производителни въртележки с малки инструменти.

Хибридизация на източника:Интегриране на източници на катодна дъга с небалансирано магнетронно разпръскване (UBM) или HiPIMS катоди в единно тяло.

Интерфейси за автоматизация:Фабрична MES интеграция чрез OPC-UA протоколи заедно с автоматични опции за люк за зареждане.

Проверка на теча на хелий:Проверка на течове с масспектрометър, извършена на всички заварки и вакуумни уплътнения.

Одит за електрическа безопасност:Тестване на изолацията на Hipot, проверки за непрекъснатост на заземяването и проверка на E-веригата за спиране на веригата.

72-часов тест за изгаряне:Непрекъснат цикъл на суха-работа на механични ротационни задвижвания, превключватели на водния поток и PLC последователности от клапани преди разглобяване.

Фабрично приемане (FAT):Извършва се на-на място за валидиране на базовите нива на вакуум, стабилността на запалването на дъгата и разпределението на дебелината на основната линия върху купоните за калибриране.

Предаване на изискванията за съоръжение:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 градуса), изсмукване и падане на захранването (3-фазно, 380V/480V).

Пускане в експлоатация на място:Надзор на-на място от инженери по механика и електричество, обхващащ подравняване, свързване и пробни партиди.

Обучение на оператора:Структурирани инструкции за конфигуриране на софтуерни рецепти, процедури за смяна на катодна мишена и превантивна поддръжка на вакуум.

Дистанционна диагностика:Сигурен индустриален VPN шлюз, вграден в контролния панел за софтуерна телеметрия и поддръжка за отстраняване на проблеми.