Тънкослойно оборудване с катодна дъга

Система за физическо отлагане на пари (PVD), използваща локализирани електрически дъги с ниско-волтаж и висок-ток за изпаряване на твърди катодни цели в напълно йонизирана плазма. Високата степен на йонизация (40%-80%) води до плътно свързване на атомно-ниво и голямо напрежение на натиск, позволявайки високо-отлагане на износоустойчиви-и декоративни покрития върху бързорежеща стомана (HSS), карбидни режещи инструменти, автомобилни компоненти и медицински устройства.

Висока йонизационна ефективност:Степента на плазмена йонизация достига 40%-80%, осигурявайки превъзходна адхезия на филма-към субстрата.

Модулни катоди:Бързо{0}}сменяемият целеви възел минимизира времето за престой при поддръжка; съвместим с планарни и въртящи се цилиндрични катоди.

Затворен{0}}контрол на газа:Контролерите за масов поток MKS поддържат прецизни парциални налягания на реактивния газ за комбинирани филми (TiAlN, TiCN).

Много{0}}осово въртене на планетата:Персонализираните задвижвания за въртене и въртене осигуряват равномерност на дебелината (±5%) в сложни 3D геометрии.

Двоен{0}}режим на работа:Поддържа изпаряване с постоянна дъга и импулсно разпръскване с отклонение за много-слойни архитектури.

Помпи за груба обработка:Комбинация от помпи Roots и ротационна лопатка за бързо изпомпване-надолу от атмосферата до 10 Pa.

Помпа за висок вакуум:Магнитно левитирана турбомолекулярна помпа (1600–3200 L/s), осигуряваща базово налягане-без въглеводороди.

Клапани и измервателни уреди:Пневматични високо{0}}вакуумни шибърни клапани с Pirani и йонизационни блокировки със студен катод за предотвратяване на обратната струя на маслото.

[Визуално ръководство за Web Producer]:Вмъкнете схематична или ясна снимка на оформлението на вакуумната водопроводна инсталация, подчертавайки турбомолекулярната помпа и позиционирането на пневматичния шибър.

Стандартни катодни цели (чистота по-голяма или равна на 99,95%)
Преходни метали:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 атомни съотношения), CrAl, W, Nb, Si.

Сплави и съединения:Графит (за DLC междинни слоеве), неръждаема стомана.

Съвместимост на субстрата и пред{0}}обработка
Материали:WC-Режещи инструменти, фрезови фрези, протяжки, матрици за щамповане, шприцформи, титанови сплави (клас 5) и неръждаема стомана.

Предварително-третиране:Ултразвуково обезмасляване с разтворител и-почистване с йонна бомбардировка на място (Ar⁺ плазмено ецване) вътре в камерата преди отлагането.

Инструменти за рязане и формоване:Покрития TiN, TiAlN и AlCrN, повишаващи твърдостта на повърхността до 3000–3500 HV, потискайки образуването на термични кратери и абразивното износване.

Автомобилни компоненти:Покрития за-намаляване на триенето за бутални пръстени, щифтове за впръскване на гориво и компоненти на зъбни колела.

Медицински импланти:Биосъвместими твърди покрития от TiN и ZrN върху ортопедични ставни протези и хирургически винтове.

Декоративен хардуер:Производство на цветови спектър (златен месинг, розово злато, бронзово черно, титаниево сиво) чрез настройка на реактивен газ.

Геометрия на камерата:Конфигурации за вертикално зареждане (монтирани-в шахта или-стоящи на пода) или хоризонтални конфигурации за-натоварване отпред.

Конфигурация на източника:Филтрирани катоднодъгови (FAC) източници на магнитни канали за елиминиране на макрочастици за оптична или прецизна електроника.

Автоматизация:Роботизирани рамена за зареждане, интегриране на AGV докинг станция и MES протоколи за регистриране на данни.

Откриване на течове:Тестване с хелиев масспектрометър на всички камери и заваръчни шевове (По-малко или равно на 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

Електрическа безопасност:Изолационно съпротивление при високо{0}} напрежение, непрекъснатост на заземяването и функционална проверка на PLC блокировка.

Пробен пуск (FAT):72-часов непрекъснат тест за сухо-тест плюс стандартен тест за отлагане на покритие, оценен чрез Calo-тест (дебелина) и тестер за надраскване (адхезия).

Пакет документи:Електрически схеми, P&ID диаграми, изходни кодове на PLC, сертификати за материали и FAT отчети.

Подготовка на обекта:Подробни чертежи на оформлението, показатели за охлаждащата вода и спецификации за разпределение на мощността, предоставени 4 седмици преди изпращането.

Пускане в експлоатация:Механично сглобяване на -на място, вакуумно калибриране и предаване на рецепти от старши инженери по процеси.

Обучение:Практически-инструкции, обхващащи поддръжка на хардуер, отстраняване на проблеми с вакуума и протоколи за безопасност.

поддръжка:Интегриране на софтуер за дистанционна диагностика за-отстраняване на неизправности в PLC в реално време, подкрепено от регионален инвентар на резервни части.