Оборудване за тънкослойно изпаряване с електронен лъч

Серията EBE-V600 е платформа-в промишлен мащаб за физическо отлагане на пари (PVD), проектирана за прецизно тънко{3}}слойно покритие на оптични компоненти, полупроводникови устройства и съвременни материали. Чрез насочване на високо-енергиен, магнитно фокусиран електронен лъч върху изходните материали вътре в-охлажданите с вода тигели, системата постига бързи скорости на изпарение, като същевременно поддържа термичните натоварвания изолирани от стените на камерата.

Архитектурата включва много-джобни източници на електрони и сензори с двоен кварцов кристален микробаланс (QCM), осигуряващи стехиометрична прецизност на филма и постоянен контрол на дебелината в много-слойни диелектрични или метални стекове.

Пистолет с магнитно отклонение на 270 градуса E-:Изолира волфрамовата нишка от директните пътища на изпаренията, предотвратявайки късо-съединение и удължавайки експлоатационния живот между интервалите на поддръжка.

Цифрово управление на почистването:Програмируемите растерни модели разпределят равномерно енергията на електроните по изпарителната повърхност, намалявайки образуването на дупки и преференциалното изпаряване по време на отлагането на сплавта.

Отделена вакуумна архитектура:Линиите за груба обработка и високо{0}}вакуумно изпомпване са структурно изолирани от основната рамка на камерата, за да се потисне предаването на механични вибрации по време на растежа на филма.

Матрица за безопасност на хардуерно блокиране:PLC наблюдение в-време на потока на охлаждащата вода, обратната връзка с високо-напрежение, пневматичното налягане и целостта на уплътнението на вратата.

Вакуумната под{0}}верига е проектирана за бърз цикъл и ниско основно налягане, за да се сведе до минимум вграждането на остатъчен газ (H2O, O2, N2) в растящи филми:

Високо{0}}вакуумна помпа:1200 L/s турбо{1}}молекулярна помпа, подкрепена от дву-степенна въртяща се лопаткова помпа (или конфигурация на суха спирална помпа за съответствие с изискванията за чисти помещения).

Изолационен вентил:Пневматично задействан шибърен клапан с висока-проводимост, изолиращ камерата по време на натоварване.

Измерване на вакуум:Комбинирани йонизационни измервателни уреди Pirani и Cold Cathode, покриващи непрекъснат диапазон от атмосфера до 10^-6 Pa.

Съвместими източници на изпарители

Филтри за оптични смущения:Многослойно отлагане на стека с висок-и нисък{1}}индекс-за теснолентови-филтри и лазерни огледала.

Производство на полупроводникови устройства:Образуване на омичен контакт, отлагане на оксид на затвора и метални зародишни слоеве.

Проучване на OLED и дисплеи:Отлагане на тънък метален катод и тестове за много{0}}слойна органична/неорганична пасивация.

Твърди огнеупорни покрития:Защитни{0}}устойчиви на износване слоеве за механични и космически компоненти.

Разширяване на камерата:Увеличени височини на съдове или правоъгълни геометрии, пригодени за интегриране на клъстерни инструменти.

Интеграция на източника:Едновременни източници на термично изпарение (резистивни лодки), комбинирани с електронно-лъчеви оръдия.

Йон{0}}асистирано отлагане (IAD):Интегриране на краен-източник на йони на Хол или Кауфман за уплътняване на филма и настройка на напрежението.

Софтуерна архитектура:Програмиране на рецепти за PLC/HMI, съвместимо с рамки за автоматизация на Siemens S7 или Beckhoff.

Тестване за теч на хелий с масспектрометър:Всяка камерна заварка се тества до праг на отхвърляне < 1 x 10^-9 Pa·m3/s преди интегрирането.

Електрическо съответствие:-Тестове за устойчивост на диелектрик при високо напрежение и проверка на непрекъснатостта на заземяването съгласно указанията на CE/UL.

Фабрично приемане (FAT):72-часа непрекъснато сухо-провеждане на тест, регистриране на криви на базовото налягане, повторяемост на сканирането на електронния лъч и времена за реакция на блокировка. Тестова документация, доставена с уреда.

Пускане на обекта в експлоатация:Фабрично-сертифицирани инженери управляват механичното подравняване, вакуумната проверка за течове, надзора на свързването към мрежата и първоначалното калибриране.

Техническо обучение:3-дневно обучение на място за оперативен протокол и протокол за поддръжка, обхващащ смяна на нажежаема жичка, реконструкция на вакуумна клапа и редактиране на рецепти.

Доставки на документацията:Пълни технически папки, включително схеми на P&ID, диаграми на електрическо окабеляване, архивни файлове на PLC и детайлизиране на резервни части.