Система за тънкослойно изпаряване с електронен лъч

Системата за електронно лъчево изпаряване от серията EBE-е проектирана за физическо отлагане на пари (PVD) на метали, диелектрици и оптични материали с висока-точка на-точка. Чрез използване на магнитно отклонен, фокусиран електронен лъч директно върху изходните материали в-охлажданите с вода тигели, системата постига високи скорости на отлагане, като същевременно поддържа вакуумна среда-свободна от замърсяване.

Насочена към производствени линии и усъвършенствани изследователски лаборатории, тази платформа поддържа производството на много{0}}слоен тънък-слой с прецизен контрол на скоростта, което я прави подходяща за филтри за оптични смущения, метализация на полупроводници и устойчиви-на износване покрития.

Отклонение на магнитния лъч:Огъващата се на 270 градуса електронна-геометрия на пистолета предпазва нажежаемата жичка от изпръскване на директна-на-линия на видимост, предотвратявайки късо съединение и разрушаване на нажежаемата жичка.

Затворен{0}}контрол на скоростта на цикъла:Интегрира много-канални кварцови кристални сензори с пропорционален-интегрален-изходен алгоритъм (PID) за динамично регулиране на е-емисионния ток и скоростта на отлагане.

Модулна палуба за тигел:Механизмът за индексиране използва ферофлуидни захранващи канали и стъпкови двигатели с директно{0}}задвижване за бързо превключване на тигел-без частици под вакуум.

Взаимосвързана архитектура за безопасност:Блокировките на хардуерно-ниво следят потока на охлаждащата вода, праговете на вакуума и състоянието на вратата на камерата, за да защитят операторите и високоволтовите компоненти-.

Вакуумният под{0}}възел е създаден за базова чистота и бърз цикъл:

Груба и предна линия:Безмаслена{0}}суха спирална помпа (капацитет: 30 m³/h) елиминира обратния поток на въглеводорода в главната камера.

Висок вакуум:Комбинирана турбо{0}}молекулярна помпа, поддържана от електропневматични шибъри и пневматични ъглови вентили.

Мониторинг на налягането:Комбинираните измерватели на йони Pirani и Bayard-Alpert осигуряват обратна връзка в реално-време в атмосферата до ултра{2}}висок вакуум (10⁻⁹ Torr).

Възможност за печене:Допълнителни кварцови инфрачервени нагреватели или нагреватели за кожух позволяват термична дегазация на камерата за по-бързо достигане на праговете на базовото налягане.

Поддържани изходни материали
Огнеупорни метали:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Диелектрици и оксиди:SiO₂, TiO₂, Ta₂O5, Al2O₃, HfO₂, Nb2O5.

Съвместимост на субстрата
Полупроводникови пластини:2-инчов до 8-инчов силиций, GaAs, сапфир.

Оптични субстрати:Лещи/призми от стопен силициев диоксид, BK7, Zerodur, германий и цинков селенид.

Гъвкави субстрати:Полиимидни филми (чрез специализирани приспособления от ролка-към-ролка или носеща плоча).

Лазерна оптика:Отлагане на диелектрични стекове с ниско-разсейване, висок-лазерен{2}}праг-на увреждане (LIDT) (TiO₂/SiO₂) за огледала с висока{4}}мощност и разделители на лъчи.

Полупроводници и микроелектроника:Отлагане на метален затвор, образуване на омични контакти и процеси на метализиране на повдигане за дискретни устройства и сензори.

Оптоелектроника:Прозрачни проводими оксидни (TCO) слоеве и изпаряване на метален катод за производство на OLED и фотоволтаични клетки.

Всяка производствена среда има уникално оформление и ограничения за интеграция. Фабричните инженерни модификации включват:

Геометрия на камерата:Персонализирани разположения на портове за-диагностика на място (напр. Елипсометрия, SIMS или RHEED).

Зареждане-заключване на интеграция:Линейни магнитни трансферни рамена или автоматичен пневматичен трансфер на вилица за свързване с клъстерни инструменти или линии на жабката.

Накланяне и нагряване на субстрата:RF/DC захранващи устройства за преднапрежение за йон{0}}асистирано отлагане (IAD) и нагряване на субстрата до 800 градуса.

Локализация на PLC и HMI:Siemens S7 или Allen-Bradley PLC архитектури за управление, отговарящи на специфични протоколи за автоматизация на завода.

Тест за течове:Всяка заварена камера от неръждаема стомана се тества-с хелиев масспектрометър за чувствителност < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s преди сглобяването.

Тест за изолация при високо{0}}напрежение:E-захранващите устройства за пистолет преминават изпитване за диелектрична устойчивост при 1,5 × номинално напрежение плюс 1000 V за 60 секунди.

Фабричен тест за приемане (FAT):Системите се подлагат на непрекъснато 72{1}}часово изгаряне-в тест, като се проверяват кривите на скоростта на изпомпване, калибрирането на движението на електронния пистолет и еднаквостта на дебелината на филма върху тестовите субстрати преди опаковане.

Пакет документи:Изчерпателни ръководства, включително електрически схеми, P&ID диаграми, изходни кодове на PLC, информационни листове за безопасност на материалите и сертификати за калибриране.

Услуги на-сайта:Фабрично-сертифицирани сервизни инженери се занимават с механично сглобяване, свързване на комунални услуги (охлаждаща вода, отработени газове, захранване) и изпитване за приемане на място (SAT).

Дистанционна диагностика:Сигурната интеграция на VPN рутер позволява отдалечено отстраняване на неизправности, оптимизиране на параметрите и софтуерни актуализации от старши инженери по процеси.