Оборудване за много-дъгово йонно отлагане

Индустриалната система за много-дъгово йонно отлагане генерира плътни тънки филми с висока-адхезия чрез изпаряване на катодна дъга с висок-ток и ниско{3}}напрежение. Твърдите целеви материали (катоди) се изпаряват в реактивна газова атмосфера (като N2, O2 или C2H2), за да се синтезират стехиометрични съставни покрития. Проектирано за високи нива на йонизация, надвишаващи 80%, това оборудване дава изключителна якост на свързване на филм-към-основата, подходяща за среди с екстремни механични натоварвания.

Технология с магнитна филтрирана дъга:Интегрираните магнитни бобини отклоняват макро{0}}частиците и капчиците далеч от потока на субстрата, създавайки ултра-гладки-повърхности без капчици за прецизна оптика и режещи инструменти.

Затворен{0}}контрол на газовия поток:Контролерите за масов поток MKS регулират парциалното налягане на реактивния газ в рамките на +/- 0.1 sccm прагове на стабилност по време на фазите на реактивно отлагане.

Управление на температурата на субстрата:Програмируемите лъчисти нагреватели, комбинирани с охлаждане с газ аргон, поддържат топлинните бюджети на субстрата между 150C и 600C.

Рецепти за автоматизиран процес:PLC-базирана контролна архитектура, изпълняваща много-етапни протоколи за отлагане от йонно почистване, градиентно ецване на междинен слой до функционално покритие на терминала.

Помпа за груба обработка:Комбинация от вентилатор на Roots и механична помпа с ротационни лопатки (базова линия на Leybold / Edwards).

Помпа за висок вакуум:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Оценка и тръбопроводи:Пневматични вакуумни шибъри от неръждаема{0}}стомана, пневматични ъглови вентили и-запечатани с еластомер KF/ISO фланци за теч-тествани чрез хелиева масспектрометрия (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Мониторинг на налягането:Комбинирани датчики за йонизация на Pirani и Cold Cathode, осигуряващи обратна връзка в-реално време в атмосферата до диапазони на ултра-висок вакуум.

Целеви материали:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Материали на субстрата:

• Циментирани карбиди (WC-Co)
• Високо{0}}бързорежещи стомани (HSS)
• Легирани стомани (SKD11, 316L, 4140)
• Титанови сплави (Ti-6Al-4V)
• Инженерна керамика и топлоустойчиви-суперсплави

Инструменти за рязане и формоване:Нанасяне на покрития от TiAlN, AlCrN и TiCN върху челни мелници, вложки, плотове и матрици за щамповане за увеличаване на твърдостта на повърхността до 3200 HV и устойчивост на абразивно износване.

Автомобилни компоненти:Отлагане на твърд въглерод (DLC) и CrN върху бутални пръстени, щифтове за впръскване на гориво и разпределителни валове за намаляване на коефициентите на триене под 0,1 при условия на работа на сухо.

Медицински импланти:TiN и ZrN биосъвместими дифузионни покрития върху кобалт-хром и титанови коленни и тазобедрени стави, свеждащи до минимум извличането на метални йони и генерирането на остатъци от износване.

Аерокосмически хардуер:-Устойчиви на окисление бариерни покрития за турбинни лопатки и крепежни елементи, работещи при повишени термични прагове.

Геометрия на камерата:Вертикален{0}}тип шахта, хоризонтално предно-зареждане или конфигурации за проход-двойна-врата-, съобразени със съществуващите оформления на-подовете на магазина.

Интеграция на източника:Хибридни конфигурации, обединяващи източници на катодна дъга с небалансирани катоди за магнетронно разпръскване (Ums) в една камера.

Джигинг и приспособления:Специализирани планетарни или двойно{0}}ротационни приспособления за инструменти, проектирани чрез CAD/FEM симулация за специфични геометрии на компоненти (напр. дълги матрици за екструдиране или сложни хирургически винтове).

Стандарти за управление на качеството:Проектиран, произведен и тестван съгласно системите за управление на качеството ISO 9001:2015 и ISO 14001 за управление на околната среда.

Аерокосмическа и медицинска проследимост:Контрол на процеса и протоколи за документиране, напълно съобразени с изискванията на NADCAP AC7102 (термична обработка/подобряване на повърхността) при поискване.

Цялост на теча:Всеки вакуумен съд се подлага на тест за течове с хелиев масспектрометър преди подписване-на монтажа.

Електрическа безопасност:-Тестване на изолационното съпротивление при високо напрежение и проверки за непрекъснатост на заземяването в съответствие със стандартите CE/IEC.

Тест-извън:72-часово непрекъснато сухо-тестване за издръжливост на механични ротационни задвижвания, превключватели на потока с водно охлаждане и PLC системи за блокиране.

Доставки на документацията:Сертификати за изпитване на мелница за материали (MTC), сертификати за изпитване за вакуумни течове, пакети с електрически схеми и NIST-проследими отчети за калибриране на сензори.

Указания за подготовка на място:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), температурни диапазони на околната среда, смукателна вентилация и спадове на електрическото захранване (3-фазно, 380V/480V, 50/60Hz).

Пускане в експлоатация:Механично позициониране на -на място, интегриране на вакуумни тръбопроводи, електрическо свързване и оптимизиране на базовата рецепта, изпълнени от местни старши инженери за обслужване на място.

Обучение на оператора:5-дневно интензивно обучение на място, насочено към рутинна поддръжка, вакуумно отстраняване на неизправности, протоколи за замяна на целите и настройка на параметри за специфични филмови структури.

Наличност на резервни части:Критични износващи се компоненти (катодни изолатори, щитове за тъмно пространство, динамични уплътнения и нишки), складирани регионално за изпращане в рамките на 48 часа.