Много{0}}дъгово PVD тънкослойно оборудване

Индустриалната много{0}}дъгова PVD система използва катодна дъга с висока{1}}йонизация физическо отлагане на пари за отлагане на плътни стехиометрични твърди покрития (като TiN, TiAlN, CrN и DLC) върху метални субстрати. Проектирана за-центрове за нанасяне на покрития с големи обеми и производствени линии за собствено производство, тази система оптимизира устойчивостта на износване, намаляването на триенето и термичната стабилност за прецизни компоненти.

Филтрирани източници на катодна дъга:Магнитното филтриране минимизира генерирането на макрочастици (капчици), осигурявайки по-гладка повърхност (Ra < 0,1 um).

Магнетронна конфигурация с небалансирано-затворено поле: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Двойно{0}}регулиране на газовия поток:Управление с обратна връзка в затворен -контур с помощта на манометри за капацитет и високо{1}}прецизни MFC за реактивни газове (N2, C2H2, O2).

Модулни източници за отлагане:Взаимозаменяемите планарни и цилиндрични оформления позволяват бързо превключване на цели за много{0}}слойни архитектури.

Помпа за груба обработка:Механична опора с въртяща се лопатка или сух винт за елиминиране на обратната струя на маслото.

Помпа за висок вакуум: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) в комбинация с вентилатор за корени.

Уплътнения и клапани:Пневматични шибъри, ISO-F/CF фланци с витонови/метални уплътнения; скорост на изтичане на хелиев масспектрометър < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Мониторинг на налягането:Комбинирани датчики за йонизация на Pirani и студен катод.

Стандартни катодни цели:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Материали на субстрата:Циментирани карбиди (WC-Co), HSS, легирани стомани (SKD11, 40Cr), титанови сплави (Ti-6Al-4V) и неръждаема стомана (304, 316L).

Предварително-третиране:Изисква ултразвуково обезмасляване и-in situ аргоново плазмено йонно ецване (Ar+ бомбардиране) за елиминиране на повърхностните оксиди преди отлагането.

Инструменти за рязане и формоване:Челни фрези, фрези и вложки, покрити с TiAlN/TiN за удължаване на живота на инструмента с 200% - 400% при суха обработка.

Автомобилни компоненти:Бутални пръстени, инжекторни щифтове и накрайници, покрити с CrN/DLC за намаляване на граничното триене и надраскване.

Медицински изделия:Ортопедични винтове, хирургически остриета и зъбни опори, използващи TiN/ZrN за биосъвместимост и устойчивост на корозия.

Индустриален хардуер:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

Размер на камерата:Персонализирани вътрешни диаметри и профили на височина, мащабирани за специфични партидни обеми или големи детайли.

Разположение на катода:4 до 12 конфигурируеми слота за източник на дъга, разположени симетрично, за да осигурят разпределение на дебелината в рамките на +/- 8%.

Интегриране на пристрастия:Опционална хибридна интеграция на високо{0}}мощно импулсно магнетронно разпръскване (HPPMS) заедно със стандартни източници на катодна дъга.

Автоматизация:Интеграция с автоматизирани рамена за зареждане и SCADA системи за изпълнение на производството.

Проверка на материала:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Структурно тестване:Проверка на размерите на CMM на камерите и изпитване на хидростатично налягане на охлаждащи канали.

Фабрично приемане (FAT):72-часов непрекъснат тест на сухо-работа, обхващащ механично въртене, криви на изпомпване и термична стабилност.

Проверка на покритието:Тестови купони, оценени чрез тест-на-диск за износване, вдлъбнатина по Рокуел и анализ на дебелината на напречното{2}}сечение FESEM.

Подготовка на обекта:Подробна инженерна документация за ограничения на натоварването на пода, дебит на охлаждащата вода и изисквания за електрически шини.

Пускане в експлоатация:Инсталиране на-на място, калибриране на вакуум и предаване на рецептата за базов процес от инженери на място.

Обучение на оператора:Структурирани програми, обхващащи рутинна поддръжка, подмяна на цели, търсене на течове и основно отстраняване на проблеми с PLC.

Поддръжка на жизнения цикъл:Интегриране на интерфейс за отдалечена диагностика за-регистриране на параметри в реално време и бързо изолиране на грешки.