Оборудване за много{0}}дъгово вакуумно отлагане

Тази система за много-дъгово вакуумно отлагане използва технология за йонно покритие с катодна дъга за отлагане на плътни твърди покрития с висока-адхезия върху метални и не-метални субстрати. Чрез запалване на дъга с ниско-волтаж и висок-ток върху мишени с твърд катод, материалът се изпарява и йонизира моментално във вакуумна среда. Ускорени от отрицателно преднапрежение, металните йони реагират с реактивни газове (N2, C2H2, O2), за да образуват стехиометрични съставни филми.

Проектирана за индустриални инструментални помещения, производители на автомобилни компоненти и независими сервизни бюра за покрития, системата осигурява повторяема твърдост на филма, ниски коефициенти на триене и устойчивост на окисление. Всяка машина е конфигурирана въз основа на партидна производителност, геометрия на субстрата и целеви архитектури на покритие (еднослойно, многослойно или градиентно).

Усъвършенствани източници на дъга на магнитно поле:Катодите включват оптимизирани постоянни и електромагнитни бобини за насочване на траекториите на петна на дъгата, повишавайки ефективността на използване на целта до над 55% и намалявайки емисиите на капки.

Затворен{0}}контрол на газовия поток:Контролерите за масов поток (MFC) регулират парциалните налягания на реактивния газ в реално-време, като поддържат прецизна стехиометрия за сложни съставни покрития като TiAlN и AlCrN.

Планетен механизъм за въртене на субстрата:Много{0}}осовото задвижване осигурява равномерно разпределение на дебелината на филма (толеранс в рамките на ± 5%) в сложни 3D компоненти и режещи инструменти.

Възможност за йонно ецване на-на място:Интегрираното почистване с тлеещ разряд и ецването с метални йони отстраняват естествените оксиди преди отлагането, осигурявайки устойчиво-надраскване интерфейсно свързване.

Модулна електрическа архитектура:Стандартизираните клемни блокове и изолираните модулни захранващи стелажи опростяват диагностиката на място и минимизират средното време за ремонт (MTTR).

Отлагането на тънък{0}}слой разчита на изходната цялост на вакуума и динамиката на обработката на газа, изпълнени чрез поетапно изпомпване:

Груба обработка и междинен етап:Механичните помпи с въртящи се лопатки с директно{0}}задвижване, съчетани с коренни вентилатори, изпразват камерата от атмосферното налягане до преходния диапазон (10^-1 Pa).

Етап на висок вакуум:Турбо-молекулярните помпи (или маслените дифузионни помпи, оборудвани със студени уловители с течен азот) постигат крайно базово налягане под 5,0 × 10^-4 Pa, елиминирайки остатъчната водна пара и замърсяването с кислород.

Уплътнение и монтаж на клапана:Пневматични високо{0}}вакуумни шибъри, еластомерно/метални-запечатани фланци (ISO/CF) и хелиеви -изпитани заварки (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

Целеви материали
Чисти метали:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, неръждаема стомана

сплави:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co

Субстратни материали
Инструментални стомани:H13, M2, D2, бързорежеща стомана (HSS)

Циментирани карбиди:WC-Co вложки и крайни фрези

Структурни метали:Титанови сплави, неръждаема стомана, месинг и алуминий (изисква протоколи за отлагане при ниска-температура)

Инструменти за рязане и формоване:Отлагане на TiN, TiAlN и AlCrN върху челни фрези, свредла, фрезови фрези и матрици за щамповане за увеличаване на твърдостта на повърхността до 3000 HV и удължаване на живота на инструмента с 3x–5x.

Автомобилни компоненти:Покрития с ниско-триене (DLC или CrN), нанесени върху бутални пръстени, щифтове за впръскване на гориво и тласъци за намаляване на механичното износване и паразитните загуби на мощност.

Хардуер и санитарен фаянс:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 часа).

Геометрия на камерата:Конфигурации за вертикално зареждане (монтирани-в шахта или-стоящи на пода) или хоризонтални конфигурации за-натоварване отпред.

Интегриране на хибридно отлагане:Комбинирайте източници на катодна дъга с високо{0}}мощно импулсно магнетронно разпръскване (HIPIMS) или катоди за небалансирано магнетронно разпръскване (UBM) в една камера за хибридни функционални слоеве.

Интерфейс за автоматизация:Персонализирана софтуерна интеграция на SCADA с фабрична MES (Manufacturing Execution System) за дистанционно проследяване на партиди и автоматизирано ръкостискане на робот за зареждане.

Помощни адаптации:Фабрични-специфични настройки на температурата/налягането на охлаждащата вода и локализирано съответствие с напрежението на електропреносната мрежа (напр. 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3-фазен).

Вакуумно откриване на течове:Тестване за течове с хелиев масспектрометър, извършено на всички корпуси на камери, заваръчни шевове и клапанни колектори.

Одит за електрическа безопасност:Изпитване на съпротивление на изолация, непрекъснатост на заземяването и висок -потенциал (hipot), изпълнено в съответствие с електрическите норми на CE/UL.

Функционална работа на сухо:72-часов непрекъснат цикличен тест на механични ротационни задвижвания, пневматични клапани и нагревателни елементи без целево запалване.

Проверка на депонирането на проба:Пробно нанасяне на покритие, извършено с-доставени от клиента субстрати; проби, оценени чрез тест-на кратер (адхезия) и Calotest/XRR (измерване на дебелината на филма).

Предварително{0}}ръководство за инсталиране:Осигурени са подробни чертежи на фундамента и инженерните съоръжения, които обхващат спецификациите за натоварване на пода, дебита на охлаждащата вода (m3/h), изискванията за изпускателния канал и оразмеряването на електрическите шини.

Пускане в-на място:Полеви инженери, изпратени за механично подравняване, вакуумна проверка за течове, електрическо свързване, първоначална настройка на рецептата на процеса и обучение на оператори.

Пакет документи:Пълната доставка включва електрически схеми, обобщения на логиката на източника на PLC, ръководства за вакуумни компоненти, дървета за отстраняване на проблеми при поддръжката и графици за подмяна на консумативи.

Дистанционна диагностична поддръжка:Сигурна VPN{0}}активирана рутерна интеграция, позволяваща на инженерите да влизат в HMI интерфейса за-диагностика на параметри в реално време и софтуерни актуализации.

Наличност на резервни части:Специален запас от критични резервни елементи (катодни мишени, изолатори, уплътнения на клапани), поддържан за бързо изпращане, за да се сведе до минимум времето за прекъсване на линията.