PVD оборудване за дъгово изпаряване

Индустриалната PVD система за изпаряване с катодна дъга използва електрически дъги с ниско-волтаж и висок{1}}ток за изпаряване на твърди катодни цели във вакуумна среда. Този механизъм постига скорост на метална йонизация над 80%, осигурявайки висока сила на химическо свързване и адхезия на субстрата в сравнение с термичното изпаряване или стандартното магнетронно разпрашване.

Проектирана за непрекъснато много{0}}сменно производство, системата интегрира тежка-кабамерна вакуумна камера от неръждаема стомана, модулни катодни управляващи модули и PLC-базирана автоматизирана архитектура за контрол на процеса.

Висока йонизационна ефективност:Директното катодно изпаряване произвежда напълно йонизирана метална плазма за плътен, дефектно{0}}контролиран тънък-растеж при умерени температури.

Опция за магнитно филтрирана дъга:Интегрираните електромагнитни бобини за управление минимизират изхвърлянето на макрочастици (капки), за да осигурят гладко покритие за прецизни инструменти.

Много{0}}слоево / градиентно отлагане:Синхронната много{0}}катодна работа дава възможност за синтез на степенувани преходни слоеве (напр. Ti/TiN/TiAlN) без нарушаване на вакуума.

Контрол на процеса в затворен-контур:Веригите за обратна връзка в-реално време регулират потока на реактивен газ (азот, ацетилен, кислород) чрез високо{1}}прецизни контролери за масов поток (MFC) за поддържане на целевите парциални налягания.

Помпен стек:Първичната груба обработка използва дву-степенни ротационни лопаткови помпи, подкрепени от вентилатори Roots. Постигането на висок-вакуум разчита на високо{3}}дифузионни помпи или турбомолекулярни помпи.

Клапани и тръбопроводи:Пневматичните ъглови вентили и електропневматичните шибъри автоматично изолират зоните на камерата. Колекторите използват фланцови тръби от неръждаема стомана ISO/KF и CF със сребристи-медни уплътнения или о-пръстени от Viton.

Откриване на течове:Интегрираните тестови портове за хелиев масспектрометър позволяват диагностика до 10^-10 Pa*m^3/s.

Съвместими катодни материали
Чисти метали:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl сплави (напр. 50/50 или 33/67 атомни съотношения).

Сложни цели:TiC, CrC, WC.

Съвместимост на субстрата
Инструментални стомани:Бързорежещи -стомани (M2, H13) и циментирани карбиди (WC-Co вложки).

Структурни сплави:Неръждаема стомана, титанови сплави (TC4) и суперсплави на базата на никел-.

Инженерна керамика:Силициев нитрид и алуминиев оксид с проводяща предварителна{0}}обработка.

Инструменти за рязане и формоване:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV и удължава живота на инструмента с 200% - 400%.

Автомобилни компоненти:Покрития против{0}}износване на бутални пръстени, тласъци и игли на горивни инжектори. Намалява коефициента на триене до 0.15 - 0.25 спрямо стоманата.

Медицински импланти: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

Форми и матрици:CrN или DLC покрития върху пластмасови форми за шприцване и щамповане за премахване на адхезивното износване и улесняване на освобождаването на детайла.

Геометрия на камерата:Конфигурации за вертикално-зареждане тип шахта или хоризонтално{1}}предно натоварване.

Изходно оформление:Персонализирано позициониране на катода, пригодено за 3D геометрии на детайла (напр. дълги матрици за екструдиране или турбинни лопатки).

Надстройки на генератора на отклонения:Интегриране на високо{0}}мощни импулсни магнетронни разпрашващи модули (HIPIMS) хибридни модули.

Интеграция на автоматизацията:Роботизирани интерфейси за зареждане и автоматизирани релси за прехвърляне на приспособления за среда на чисти помещения.

Преди тестване за фабрично приемане (FAT), системите преминават през:

Вакуумно изпитване за течове:Проверка с хелиев масов спектрометър на всички заварки и уплътнения.

Проверка на електрическа безопасност:Изолационно съпротивление, непрекъснатост на заземяването и проверки на логиката на блокировката в съответствие със стандартите CE/UL.

Функционално изгаряне-в:72-часов непрекъснат тест за суха работа на ротационни задвижвания, превключватели на потока и PLC комуникация.

Изпитване на покритие:Отлагането на пробата е потвърдено чрез измерване на дебелината на филма с топка-кратер и тест за надраскване чрез вдлъбнатина по Рокуел.

Подготовка на обекта:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 deg C), сгъстен въздух, вентилация и електрически падания (380V/480V, 3-фазен, 50/60 Hz).

Пускане в експлоатация:-Инсталиране на място, калибриране на вакуума и оптимизиране на рецепти от старши инженери по процеси.

Обучение на оператора:Практически-инструкции, обхващащи рутинна поддръжка, подмяна на целта и SCADA работа.

След{0}}продажбена поддръжка:Отдалечен диагностичен достъп чрез защитен индустриален VPN; гарантиран технически отговор в рамките на 24 часа.