Тънкослойна система за дъгово изпаряване

Индустриалната система за тънкослойно изпаряване с катодна дъга е проектирана за високо-отлагане на плътни, силно прилепнали метални, сплавни и керамични покрития. Работейки чрез дъгово разреждане с ниско-волтаж и висок{3}}ток върху твърди катодни мишени, системата изпарява материала директно в състояние на силно йонизирана плазма (40% - 80% съотношение на метални йони). Това задвижва енергийни йони в интерфейса на субстрата, създавайки превъзходна адхезия на покритието в сравнение със стандартното термично изпаряване или конвенционалните методи за разпръскване.

Създадена за производствени среди и модерни изследователски центрове за материали, системата отлага твърди,{0}}устойчиви на износване трибологични слоеве-като TiN, TiAlN, CrN и AlCrN-върху режещи инструменти, формовъчни форми и прецизни механични компоненти. Модулната вакуумна камера включва мащабируеми мулти-катодни конфигурации и автоматизирано 3-осово планетарно въртене, за да се осигури повторяемост-от партида към партида.

Магнитна{0}}катодна технология за управление:Магнитните полета със затворен -контур преместват катодното петно ​​по повърхността на целта, като повишават степента на използване на целта над 55% и потискат образуването на локализирани кратери на целта.

Плазма с висока степен на йонизация Генерира съотношения на метални йони до 80%, осигурявайки висока кинетична енергия за растеж на плътен филм и дълбока металургична дифузия на повърхността на субстрата.

Програмируемо много{0}}слоево отлагане:Индустриалният PLC, комбиниран с HMI контролна архитектура, изпълнява автоматизирано секвениране на реактивни газове (N2, O2, C2H2) за архитектури с функционален градиент и нанослоесто покритие.

Плазмено ецване на-на място:Интегрира бомбардиране с метални йони и небалансирани етапи на почистване с магнетрон преди отлагане за отстраняване на естествени оксиди и повърхностни замърсители.

Вакуумната подсистема е проектирана за бързи цикли на изпомпване-надолу и стабилно работно налягане при непрекъснат вход на реактивен газ:

Етап на грубо обработване и корени:Директно{0}}задвижвана ротационна лопатка или суха винтова помпа, съчетана с вентилатор на Roots, евакуираща камерата от атмосферно налягане до 10 Pa в рамките на 5 минути.

Етап на висок вакуум:Турбомолекулярна помпа с магнитна левитация, осигуряваща висока обемна скорост на изпомпване за водни пари и остатъчни газове, осигурявайки цели за базово налягане под 5,0 x 10^-4 Pa.

Клапани и измервателни уреди:Пневматични шибъри и електро-пневматични ъглови вентили, интегрирани с-комбинирани измервателни уреди Pirani/Penning за автоматизирани блокировки за безопасност.

Регулиране на налягането:Обратна-капацитивна манометърна обратна връзка със затворен-контур, свързана с високо{1}}прецизни контролери за масов поток (MFC) за стабилизиране на парциалното налягане на реактивния газ по време на реактивно отлагане.

Целеви материали
Чисти метали:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Мишени от сплав:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Въглерод:Графитни мишени за диамантено{0}}подобно въглеродно (DLC) хибридно отлагане.

Съвместимост на субстрата
Твърди метали / циментирани карбиди:WC-Co режещи вложки, челни фрези и инструменти за формиране.

Високо{0}}бързорежещи стомани (HSS):Метчи, спирални свредла и протяжки.

Инженерни стомани:Неръждаема стомана, титанови сплави и високотемпературни суперсплави на базата на никел-.

Структурна керамика:Компоненти от алуминиев оксид и силициев нитрид, изискващи трибологична модификация.

Инструменти за рязане и обработка:Отлагане на TiAlN и AlCrN покрития върху карбидни пластини за повишаване на устойчивостта на окисление до 900 градуса C и удължаване на живота на инструмента по време на високо-скоростно сухо рязане.

Автомобилни компоненти:Твърдо покритие на бутални пръстени, повдигачи на клапани и щифтове за впръскване на гориво за намаляване на коефициентите на гранично триене под 0,1 и предотвратяване на надраскване.

Форми и матрици:Нанасяне на CrN и TiCN филми върху пластмасови шприцформи и метални матрици за щамповане за предотвратяване на износване на лепило и надраскване на материала.

Аерокосмически хардуер:Защитни устойчиви на ерозия-покрития върху прецизни крепежни елементи и компресорни компоненти, работещи в корозивни среди.

Геометрия на камерата:Конструкции на врати за-зареждане в стил вертикална-яма или хоризонтални предни{1}}проекти на врати за зареждане, съобразени с оформлението-на пода на магазина.

Хибридна интеграция на източника:Конфигурации с двойна -технология, съчетаващи катоднодъгови изпарители с катоди за небалансирано магнетронно разпръскване (UBMS) или линейни йонни пистолети.

Ниво на автоматизация:Опции за фабрична интеграция, включително автоматизирани роботизирани рамена за зареждане или монтиране на преградна стена в чисти помещения.

Силова електроника:Персонализирани генератори на импулсно отклонение, оптимизирани за изолиращи субстрати или температурно-чувствителни основни материали.

Откриване на течове:Тестване за течове с хелиев масспектрометър, извършено на всички вакуумни камери и заваръчни шевове, поддържайки общите скорости на течове под 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Одит за електрическа безопасност:Изпитване на изолационното съпротивление и непрекъснатостта на заземяването в съответствие с CE и стандартите за електрическа безопасност.

Функционална работа на сухо:72-часов непрекъснат автоматизиран тест на сух цикъл на механични ротационни задвижвания, последователност на клапаните и блокировки на потока на охлаждащата вода.

Проверка на процеса (FAT):Опционално отлагане на еталонни TiN покрития върху тестови купони, предоставени от-клиента, за проверка на еднаквостта на дебелината на филма, нано{1}}твърдостта и якостта на адхезия срещу надраскване преди опаковане.

Ръководство за подготовка на място:Подробна инженерна документация на съоръжението, обхващаща ограниченията за натоварване на пода, изпускателни тръби, спецификации за охладена вода и електрически капки, предоставени 4 седмици преди доставката.

Пускане в-на място:Инженерите за обслужване на място контролират механичното позициониране, свързването на комунални услуги, вакуумното запечатване и електрическата интеграция.

Процесно обучение:Практическо-обучение за оператори, обхващащо поддръжка на камерата, протоколи за смяна на мишени, отстраняване на проблеми с вакуума и управление на рецепти.

Дистанционна диагностика:Сигурен промишлен VPN шлюз, интегриран в контролния шкаф за отдалечени софтуерни актуализации, анализ на регистриране на параметри и диагностика на грешки.