PVD оборудване за отлагане на композитни материали

Оборудването за промишлено PVD композитно отлагане е проектирано за производство на много-компонентни, много-слойни и нано-композитни тънки-слои. Системата интегрира източници на термично изпаряване, изпаряване на е-лъчи и магнетронно разпръскване в една вакуумна среда за контролиране на състава на филма, остротата на интерфейса и остатъчното напрежение. Създадена за непрекъсната научноизследователска и развойна дейност и производство, архитектурата включва ниско базово налягане, модулна конфигурация на източника и чист достъп за поддръжка.

Модулна интеграция на източника:Портовете на камерата позволяват едновременна или последователна работа на източници на изпарение и разпръскване без кръстосано-замърсяване.

Динамична манипулация на субстрата:Много{0}}осните планетарни или въртящи се задвижващи механизми осигуряват конформно покритие върху сложни 3D субстрати и дълбоки канали.

Портове за-наблюдение на място:Предварително подравнени фланци за кварцови кристални микровезни (QCM), оптична емисионна спектроскопия (OES) и широколентов оптичен мониторинг (BOM).

Целостта на вакуума с висока{0}}чистота:Метални -запечатани конфлатни (CF) фланци, пневматични шибъри и тестване за течове с хелиев масспектрометър до 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.

Безопасност с автоматично блокиране:Обратната- обратна връзка от сензора в реално време предпазва от повреда на охлаждащата вода, загуба на сгъстен въздух и пре-температурни аномалии.

Помпи за груба обработка и корени:Сухите винтови помпи- без масло, комбинирани с коренни вентилатори, предотвратяват обратния поток на въглеводорода в процесната камера.

Високо{0}}вакуумни помпи:Турбомолекулярни помпи с магнитна левитация или хелиеви криогенни помпи със затворен -контур, избрани според изискванията за натоварване на целевия газ.

Регулиране на налягането:Контролерите на дроселната клапа, интегрирани с капацитивни манометри, поддържат стабилно налягане на процеса (0,1 Pa до 10 Pa) по време на реактивни работи.

Филтри за оптични смущения:Много{0}}слойни анти{1}}отражателни (AR) покрития, лентови филтри и високо-рефлекторни огледала за лазери и сензори.

Износ{0}}устойчиви твърди покрития: Нанокомпозитни нитридни покрития (TiAlN/Si3N4) върху прецизни режещи инструменти и автомобилни клапани.

Микроелектронни тънки филми:Проводими бариерни слоеве, начални слоеве и стекове за контактна метализация за полупроводникови опаковки.

Функционални енергийни филми:Прозрачни проводими оксиди (TCO) и абсорбиращи слоеве за фотоволтаични и сензорни устройства.

Размери на камерата:Мащабиран обем от мащаб за научноизследователска и развойна дейност (400 mm куб) до производствен мащаб (диаметър. 1200 mm цилиндричен).

Оформления на изходния порт:Персонализирано позициониране на фланеца за интегриране на източници на йони на трети-страни, плазмено-подпомогнато отлагане (PAD) или RF генератори на отклонения.

Зареждане-заключване на интегриране:Ръчно зареждане-заключване, едно-зареждане на пластини-заключване или много-камерни клъстерни конфигурации на инструменти за предотвратяване на окисляване.

Глобално съответствие за електричество и безопасност:Контролни шкафове, изградени съгласно UL 508A / NFPA 79 (Северна Америка), CE (Европа) и SEMI S2/S8 EHS указания.

Вакуумно изпитване:Заварените камери се подлагат на откриване на течове с хелиев масспектрометър преди завършване на повърхността.

Проверка на размерите:Проверка на координатна измервателна машина (CMM) на монтажните равнини на източника и допустимите отклонения на субстрата.

Фабричен тест за приемане (FAT):72-часа непрекъснато сухо-провеждане на тест, записващо спадане на базовото налягане, криви на изпомпване и регистрационни файлове за отговор на PLC.

Пред{0}}инсталационен инженеринг:Предоставяне на наръчници за изискванията на съоръженията (комунални услуги, поток/налягане на охлаждащата вода, смукателна вентилация, натоварване на пода в чисти помещения).

Пускане в-на място:Инженерите за обслужване на място наблюдават монтажа, свързването на вакуумната линия, електрическото свързване-и първоначалното изпомпване-.

Помощ за настройка на процеса:Съвместни пробни работи с инженерни екипи на клиента за проверка на еднородността на филма и скоростите на отлагане.

Поддръжка на жизнения цикъл:Интегриране на модул за отдалечена диагностика за-отстраняване на неизправности в PLC в реално време, подкрепено от локализиран инвентар на резервни части.